이 시리즈는 나사 구동 방식으로 소형, 경량, 고강성 특징을 갖추고 있습니다. 이 스테이지에는 입자의 출입을 방지하는 스테인리스 스틸 커버 스트립이 장착된 모터 구동 볼스크류 모듈이 포함되어 있습니다.